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水環(huán)真空泵的真空鍍膜技術(shù)
真空鍍膜技術(shù)是從加熱源離析出來打到被鍍泵的表面上,所以也是水環(huán)真空泵應(yīng)用技術(shù)的一個重要分支,它已普遍地應(yīng)用于光學(xué)、電子學(xué)、能源開發(fā),理化儀器、建筑機(jī)械、包裝、民用制品、外表科學(xué)以及科學(xué)研討等范疇中。真空鍍膜所采用的辦法主要有蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流堆積鍍以及分子束外延等。此外還有化學(xué)氣相堆積法。
假如從真空鍍膜的目的是為了改動水環(huán)真空泵外表的物理、化學(xué)性能的話,這一技術(shù)又是水環(huán)真空泵外表處置技術(shù)中的重要組成局部。現(xiàn)就其幾個主要應(yīng)用方面做一簡單引見。在光學(xué)方面,一塊光學(xué)玻璃或石英外表上鍍一層或幾層不同物質(zhì)的薄膜后,即可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作任何預(yù)期比例的反射或透射資料,也能夠作成對某種波長的吸收,而對另一種波長的透射的濾色片。
水環(huán)真空泵的高反射膜從大口徑的天文望遠(yuǎn)鏡和各種激光器開端、不斷到新型建筑物的大窗鍍膜茉莉,都很需求。增透膜則大量用于照相和各種激光器開端、不斷到新型建筑物的大窗鍍膜玻璃,都很需求。增透膜則大量用于照相機(jī)和電視攝象機(jī)的鏡頭上。在電子學(xué)方面真空鍍膜更占有重要的位置。各種范圍的繼承電路。包括存貯器、運(yùn)算器、通知邏輯元件等都要采用導(dǎo)電膜、絕緣膜和維護(hù)膜。作為制備電路的掩膜則用到鉻膜。
所以水環(huán)真空泵表面的鍍膜一旦損壞,可以再對其進(jìn)行修復(fù),從而讓其能夠長久保持良好的使用狀態(tài)。這種方法雖然說可以減少泵的清潔次數(shù),但是,為了讓泵的使用時間更長一些,還是要定期進(jìn)行清潔。
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